В процессе шлифовки TSV (сквозных кремниевых контактов) ключевым моментом для обеспечения качества и стабильности технологии является согласованность скорости удаления двух материалов (например, кремниевого основания и слоя покрытия).

Ниже приведены методы и стратегии достижения этой цели:

1. Точное управление параметрами шлифовки
   Регулировка давления, скорости вращения и материала шлифовальной головки позволяет точно контролировать скорость удаления разных материалов. Оптимизация параметров проводится на основе экспериментальных данных.

2. Использование подходящего шлифовального состава (жидкость и абразив)
   Выбор шлифовальной жидкости с хорошей химической стабильностью и смазывающими свойствами снижает трение и нагрев. Абразив подбирается по твердости и размеру частиц с учетом свойств материалов для выравнивания скоростей удаления.

3. Онлайн-мониторинг и корректировка
   Использование лазерных измерений и датчиков усилия для мониторинга скорости удаления и качества поверхности позволяет оперативно регулировать параметры и состав шлифовальной среды при отклонениях.

4. Контроль равномерности
   Оптимизация конструкции процесса, включая прикрепление пластин и планирование маршрута шлифовки, обеспечивает однородность удаления материала по всей поверхности.

Итог: обеспечение согласованной скорости удаления двух материалов при шлифовке TSV достигается точным контролем параметров, подбором шлифовальных средств, онлайн-мониторингом, оптимизацией процесса и строгим контролем качества, что гарантирует стабильность и высокое качество конечного продукта.