
-
Высокая точность обработки
-
TTV ≤ 2 мкм
-
RA: ≤ 0
-
1 нм
-
Подходит для обработки пластин размером до 6 дюймов и различных нестандартных пластин
-
Имеет функцию мониторинга и автоматического восстановления по типу диска
-
Точность давления зажима достигает 2 г/см²
-
можно заказать модуль повышения давления
-
Высокая эффективность
-
поддерживает одновременную обработку до четырех рабочих мест
-
Можно редактировать и сохранять не менее 100 технологических программ
-
Имеет функции контроля температуры диска
-
автоматического охлаждения и другие функции контроля температуры
-
Комбинированный шлифовально-полировальный станок
-
удобный в эксплуатации
-
с высокой совместимостью