Ключевой процесс CMP для глобальной планаризации поверхности кремниевых пластин, покрытых медью кремниевых подложек и других комбинированных металлических поверхностей.
Производство пластин
相关产品
- ДОМ
-
Установка
-
GNAD-E
Шлифовка и полировка возможныРазмер: 85*75*55 мм -
GNAD-T
Закрытый шлифовально-полировальная установкаРазмер: 100*70*110 мм -
GNAD-P
Независимый блок управленияИнтегрированная шлифовально-полировальная установка -
CPI-600
установка для химико-динамической полировкиРазмер: 55*53*77 мм -
Серия MP/ML
Шлифовально-полировальное оборудование для обработки нескольких пластинОдновременная обработка 2 дюйма x 48 штук -
Двусторонняя шлифовка и полировка
Полировальная жидкость может использоваться повторноДля сапфира керамики и тонких деталей
-
-
CMP
-
CDP-400 — ручн
Может обрабатывать пластины размером 4 дюйма и менееРазмер: 90*65* 150 мм -
CDP-600 — ручн
Размер: 90*65* 150 ммМожет обрабатывать пластины размером 6 дюймов и менее -
CDP-800 — полуавто
Может обрабатывать пластины размером 8 дюймов и менееРазмер: 110*145*220 мм -
CDP-800 — авто
Имеет механическую рукуРазмер: 210*145-220 мм -
Машина для очистки пластин
Выбор нескольких моющих средДвухжидкостная очистка + комбинированная сушильная система
-
-
Приклейка
-
Серия AMS
Система автоматической приклейки образцов на носитель с тремя позицияОдновременная независимая работа нескольких пластин -
Серия AMS
Система автоматической приклейки образцов на носитель с одним позицияПоддержка пластин до 12" и нестандартных форм -
Ручная система приклейки образцов
Простота в эксплуатацииВысокая плоскостность
-
-
Микроскоп
-
Интерференционный микроскоп белого света MS1000
Лазерная фокусировкаСменный интерференционный объектив -
Интерференционный микроскоп белого света MS2000
Сканирование с конфокальной оптикойИзмерение сверхглубокой глубины резкости -
Лазерный интерферометр FMS150
Быстрое неразрушающее тестированиеКачественный анализ интерференционных полос -
Инфракрасный интерференционный микроскоп IS2000
Модульная интегрированная измерительная системаАдаптируется к различным сложным поверхностям
-
-
Решения
-
О нас
marketing@mcfsens.com
Whats
Whats
预约咨询